砥石1ステージ+研磨、琢磨4ステージ、砥石には自動ドレス機構、研削量調整機構を標準装備しております。
各ステージ同時研磨により高いスループットを実現します。
各ステージに洗浄槽、乾燥槽を標準装備しているため、前工程の異物を持ち込みません。
様々なカスタマイズに柔軟に対応できます。お気軽にお問い合せください。
| 電源 | 三相200-220V 50/60Hz |
|---|---|
| エアー | 0.5~0.7MPa(フィルター、レギュレター付) |
| 水 | 0.2~0.4MPa 20L/min以下 |
| 砥石回転速度 | 800~1700rpm(可変) |
| 砥石径 | φ355㎜ |
| 研磨テーブル径 |
φ310㎜ ※最大φ350㎜まで対応可 |
| 研磨テーブル回転速 | 60~350rpm(1rpm単位で可変) |
| 試料ホルダー径 |
φ160~200㎜ ※特殊形状のホルダーにも対応可 |
| 試料ホルダー回転速度 | 60~200rpm(1rpm単位で可変) |
| 加圧力 | 60~600N(1N単位で可変) |
| 研磨条件メモリー数 | 28通り(PLC制御) |
| 装置外寸/重量 | W6325×D1545×H1900㎜, 約5000㎏ |