ウェハーベベル研磨装置

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ウェハー外周ベベル部の面取りを自動的に研磨する装置です。
ノッチもオリフラも同装置にて研磨することができます。
8~15インチのウェハーサイズ別に装置を取り揃えております。
研磨テープを使用することで、目詰まりの影響を受けることなく、研磨力を一定に維持できるよう制御されています。

主な特長

  • 高品位研磨テープによる低Raの実現
  • 様々なプロセスに対応 - Cvd Film Removal
    - R-Beveling, Oblique-Beveling
    - After Lapping
    - Reclaiming
  • 膜質を選ばない研磨が可能 EPI(酸化膜、ポリ膜、LTO膜)チタン、タングステン、メタルなど
  • スラリー負荷の軽減
  • 100%ケミカルフリー 水だけで研磨が可能です。
    排水処理の心配はございません。
  • クラス1000対応 局所排気、集中排気システムを取り付けることでクリーンルームでの使用が可能です。

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