⼩径ウェハーベベル研磨装置

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ウェハーベベル研磨装置より得たノウハウを投入した小径向け専用機です。
ウェハーサイズは、8mmの小径ミニマルウェハーから、200mmウェハーまで加工設備をご提案可能です。
研磨テープを使用することで、目詰まりの影響を受けることなく、研磨力を一定に維持できるよう制御されています。

主な特長

  • 精密研磨テープ使用
  • 常にフレッシュな砥粒面により、安定した表面粗さを実現
  • 外周及びオリフラ対応
  • 片面研磨(下面側研磨時にはワークの再セットが必要)
  • 炭化ケイ素、シリコンウェーハ、サファイア、ガラスなどに対応
  • トップエッジ対応

標準仕様

ウェーハサイズ 2"~6"
研磨テープ幅 3"
寸法 W932.5×D1530×H1721mm
重量 800kg
電源 200V

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