ウェハーベベル研磨装置
ウェハー外周ベベル部の面取りを自動的に研磨する装置です。
ノッチもオリフラも同装置にて研磨することができます。
８～１５インチのウェハーサイズ別に装置を取り揃えております。
研磨テープを使用することで、目詰まりの影響を受けることなく、研磨力を一定に維持できるよう制御されています。
- 主な特長
主な特長
- 高品位研磨テープによる低Raの実現
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様々なプロセスに対応
- Cvd Film Removal
- R-Beveling, Oblique-Beveling
- After Lapping
- Reclaiming - 膜質を選ばない研磨が可能 EPI(酸化膜、ポリ膜、LTO膜)チタン、タングステン、メタルなど
- スラリー負荷の軽減
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100%ケミカルフリー
水だけで研磨が可能です。
排水処理の心配はございません。 - クラス1000対応 局所排気、集中排気システムを取り付けることでクリーンルームでの使用が可能です。