ロボット研磨機

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熟練の方がおこなう研磨を、自由度の高いレシピにて、高精度でスピーディーに再現が可能です。
お客様の研磨ワークに合わせたカスタマイズも実現できます。

  • 電磁チャックにワークを固定し、ディスクグラインダ状研磨ヘッドでワークを研磨
  • 研磨パッドの自動交換機能の搭載
  • 複数番手の研磨パッドをセットし、1レシピ内で段階的に使用する自動研磨が可能
  • ディスクを回転させて研磨するだけではなく、固定し、ヘアライン状に研磨等も可能
  • 研磨ヘッドには力センサを搭載しており、複雑なワーク形状でも加重が一定
  • ワーク形状、研磨ヘッド形状、タッチパネル画面仕様はお客様のご要望でカスタマイズ可能

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