⼩径ウェハーベベル研磨装置
ウェハーベベル研磨装置より得たノウハウを投入した小径向け専用機です。
ウェハーサイズは、8mmの小径ミニマルウェハーから、200mmウェハーまで加工設備をご提案可能です。
研磨テープを使用することで、目詰まりの影響を受けることなく、研磨力を一定に維持できるよう制御されています。
- 主な特長
- 標準仕様
主な特長
- 精密研磨テープ使用
- 常にフレッシュな砥粒面により、安定した表面粗さを実現
- 外周及びオリフラ対応
- 片面研磨(下面側研磨時にはワークの再セットが必要)
- 炭化ケイ素、シリコンウェーハ、サファイア、ガラスなどに対応
- トップエッジ対応
標準仕様
| ウェーハサイズ | 2"～6" |
|---|---|
| 研磨テープ幅 | 3" |
| 寸法 | W932.5×D1530×H1721mm |
| 重量 | 800kg |
| 電源 | 200V |